飛納臺式掃描電鏡采用高亮度六硼化鈰(CeB6)電子源，具備快速成像、操作簡便、維護成本低等優勢。
1.電子束產生：電子槍發射出高能量的電子束，這是整個觀察過程的起點。傳統掃描電鏡多使用鎢燈絲作為電子源，而飛納臺式掃描電鏡采用高亮度六硼化鈰(CeB6)電子源，這種電子源具有更高的亮度和穩定性，能夠提供更優質的電子束。
2.電子束聚焦與掃描：產生的電子束在電磁透鏡系統的作用下被準確聚焦成細小的光斑，并按照一定的規律在樣品表面進行掃描。通過控制電磁透鏡的電流強度，可以靈活調整焦距和放大倍數，從而適應不同樣品的觀察需求。
3.信號探測：當電子束與樣品相互作用時，會激發樣品產生多種物理信號，如二次電子、背散射電子等。配備的高靈敏度探測器，能夠準確捕捉這些從樣品表面逸出的信號。
4.圖像構建：探測器將收集到的信號轉化為電信號，經過復雜的處理后生成清晰、準確的圖像。計算機系統對這些圖像數據進行分析和處理，呈現出樣品表面的微觀形貌和結構信息。
飛納臺式掃描電鏡的測定步驟：
1.樣品制備
-確保樣品干燥、清潔，避免油污或灰塵污染。非導電樣品需進行噴金或噴碳處理以提高導電性。
-將樣品固定在導電膠上，用鑷子輕壓使其牢固粘附，并用高壓氣體吹掃表面。
-調節樣品杯高度，使樣品面低于樣品杯邊緣約3mm(旋轉高度調節環鈕6個刻度)，避免進樣時碰撞設備。
2.儀器準備
-開機預熱，啟動真空系統，確保樣品室達到所需真空度。
-設置初始參數：加速電壓通常為10kV，束流調至“標準”模式，背散射成像模式。
3.觀察與成像
-通過低倍率快速定位目標區域，逐步切換至高倍率觀察。
-分階段聚焦：先1000-3000倍粗聚焦，再2萬倍精細調焦(點擊F圖標)，降至目標倍數(如5000或1萬倍)自動或手動調節對比度/亮度。
-拍照保存至U盤，記錄放大倍數及順序以便后期整理。
4.結束操作
-退出真空狀態，取出樣品杯時需平放桌面，用鑷子取下載物臺，避免碰撞電極片。
-關閉電源并設置為待機模式，樣品杯密封保存于干燥袋中。
